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晶圆高空输送线(OHCV)

设备功能：

•晶圆厂的产品的运输

•自动化搬运晶圆片盒（如open cassette）、托盘、组件等

•利用工厂上方空间架设，优化空间

•无缝集成到MES、MCS、RDT等系统，自动调度、追踪物料流向

•系统可按需扩展，轨道长度、控制点可调

振动值：≤0.5g

CV运行速度：150—450 mm|s

两段CV之间水平垂直度：±0.05mm

技术特点：

•具备CV缓存功能

•支持CAD导入和手绘地图

•自动排除拥堵和异常料盒回流功能

•大屏展示功能，动态实时显示设备状态、料盒状况和任务执行状况

•能与Stocker，Lifter，倒蓝，AGV无缝对接，实现智能空中物流搬运系统

适用产品：4寸，6寸，8寸晶圆

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