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OPE设备

设备尺寸: 1150mm(L)*520mm(W)*1700mm(H)

设备功能:OHT/人工上下料FOUP

重复定位精度:±0.5mm

料盒类型:12寸FOUP

洁净等级:Class 10

通讯兼容:SECS/GEM、SEMI E84

技术特点:

    •具备RFID读取功能

    •检测FOUP有无

    •检测FOUP有无倾斜

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