设备尺寸：1200mm(L)*720mm(W)*1145mm(H) （配负载协作机械手，臂展1300mm）

设备功能：AMR（自主移动机器人）是适配Class 1–Class 5洁净环境、以自主导航+动态调度实现硅片FOUP/Cassette等物料在产线间柔性搬运的核心设备

负载重量：15kg

行走速度：
直线最快0.6M/s，加减速0.3m/s2 Max 储位震动<0.5G

升降精度：
±0.3mm

洁净等级：Class 10

抓取种类：FOUP/SMIF Pod/Metal cassette/Magazine

通讯协议：SECS/GEM、E84

连续工作时长：
≥8H

技术特点：

    •实现FOUP/Cassette在机台、STK缓存区、线边站之间点对点自动转运，支持多站点自由调度

    •无轨运行，无需地面改造；搭载激光雷达+视觉传感器，实现动态避障，保障人员与设备安全

    •与机台Load Port、STK货架无缝对接，完成物料自动装卸，对接成功率≥99.9%

    •支持多机协同管理，接入工厂MES/WCS系统，支持任务动态分配、路径优化、负载均衡

    •具备实时状态监控、故障自诊断、声光报警功能，支持远程运维