船型载具缺陷自动检测设备(Boat)
自动顶针模组检测(Ejector Module)
芯片最终外观检(Package Scanner)
散热盖间隙&平面度检测(Stffener&Lid)
芯片散热盖助焊剂检测(Flux)
散热盖粘合剂自动检测(ASA Dispense)
倒装芯片填充胶检测(Underfill)
芯片倒装位置检测 (Die Position )
自动芯片六面检(Waffle Tray to Waffle Tray)
全自动晶圆光学检测设备Wafer AOI
自动晶圆分选机 Wafer to Tray
OPE设备
清洗机上下料改造设备
E-rack设备
E84改造设备
智能存储系统
Tray盘包装机
晶圆包装机
晶圆自动分选机
自主移动机器人AMR
晶圆高空输送线(OHCV)

设备尺寸:L*W*H 1500*1200*1800mm
设备功能:
•顶针模组缺陷检测
•顶针与针罩同心度
•针罩平面度
•表面毛刺
•针罩出针位孔毛刺
•顶针共面性
•顶针真空气密性检测
性能指标:
•效率:UPH> 20
•漏检:0
•误判/overkill:< 0.1%
技术特点:
•兼容Datacon 2200&8800,Mi18, Capcon四款顶针
•AI算法,有效识别并检测表面磨损顶针
应用场景:先进封装半导体制程芯片顶出顶针模组检查
适用产品:Datacon 2200&8800,Mi18, Capcon
适配工艺:芯片顶出工艺前的顶针模组准备
适配形态:线外顶针模组检查
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