船型载具缺陷自动检测设备(Boat)
自动顶针模组检测(Ejector Module)
芯片最终外观检(Package Scanner)
散热盖间隙&平面度检测(Stffener&Lid)
芯片散热盖助焊剂检测(Flux)
散热盖粘合剂自动检测(ASA Dispense)
倒装芯片填充胶检测(Underfill)
芯片倒装位置检测 (Die Position )
自动芯片六面检(Waffle Tray to Waffle Tray)
全自动晶圆光学检测设备Wafer AOI
自动晶圆分选机 Wafer to Tray
OPE设备
清洗机上下料改造设备
E-rack设备
E84改造设备
智能存储系统
Tray盘包装机
晶圆包装机
晶圆自动分选机
自主移动机器人AMR
晶圆高空输送线(OHCV)

设备尺寸:L*W*H 1200*1200*2000mm
设备功能:
•对散热盖粘合剂点胶缺陷和质量检测
•散热盖粘合剂点胶缺胶、少胶、断胶、胶体宽度、胶偏移
•胶体高度、胶体积、胶质量
性能指标:
•效率|efficiency:UPH> 1000 unit/hour(基于3*6boat,18颗unit)
•精度|precision:2D最小量测:50μm;3D 最小量测:50 μm
•误判/overkill:< 0.1%
技术特点:
•在线粘合剂点胶缺陷和质量实施监测
•自动图像对焦及图像增益,消除手动调试差异
•向导式创建新产品配方,降低配方创建难度,提高创建速度
应用场景:先进封装半导体贴盖封装前散热盖粘合剂点胶缺陷和质量检测
适用产品:FCBGA、FCLGA、FCPGA的CPU,GPU产品
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