船型载具缺陷自动检测设备(Boat)
自动顶针模组检测(Ejector Module)
芯片最终外观检(Package Scanner)
散热盖间隙&平面度检测(Stffener&Lid)
芯片散热盖助焊剂检测(Flux)
散热盖粘合剂自动检测(ASA Dispense)
倒装芯片填充胶检测(Underfill)
芯片倒装位置检测 (Die Position )
自动芯片六面检(Waffle Tray to Waffle Tray)
全自动晶圆光学检测设备Wafer AOI
自动晶圆分选机 Wafer to Tray
OPE设备
清洗机上下料改造设备
E-rack设备
E84改造设备
智能存储系统
Tray盘包装机
晶圆包装机
晶圆自动分选机
自主移动机器人AMR
晶圆高空输送线(OHCV)
设备功能：用于FOUP/SMIF Pod等多种载具的储存， 采用连续性结构设计、 提高耐性和储存密度，提供智慧性储位管理，减少出库时间， 提高传送效率。根据Layout布局定制Stocker尺寸，最大限度利用Fab空间。同时支持跨楼层间物料传输与存储。
负载重量：15kg
行走速度： 2 m/s
升降精度：1.5 m/s
搬运效率：180 pcs/H
搬运振动：<0.5 G
洁净等级：Class 100
抓取种类：FOUP/SMIF Pod/Metal cassette/Magazine
技术特点：
•可自动对接OHCV/OHT，可RFID识别与库存管理
•远程监控与控制
•安全防护
•模块化与可扩展性
苏州工业园区扬东路88号
+86-185-0151-0586
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